IDEAS home Printed from
   My bibliography  Save this paper



  • 東川, 巌


Nikon、Canon 二社で80%に達する199 年代初頭の絶頂期から、国内半導体デバイスメーカの凋落と時を一に国内半導体露光装置メーカNikon、Canon の地盤沈下が続いている。2002 年には着実にシェアを伸ばしてきたASML 社がトップに躍り出た。露光装置はコンタクト露光に始まり、プロキシティ露光、1:1 ミラースキャンから縮小投影露光へ進み、縮小投影露光はg 線、i 線、KrF、ArF と短波長化し、Step&Repeat からStep&Scanに移行してきた。競争は過酷で次世代露光装置の開発に露光装置メーカの命運がかかっている。2000 年前後にはArF 193 nm の次の技術が混沌としていた。ArF 193 nm に目途がついた1950 年代後半、次世代リソグラフィの選択は、露光装置メーカだけでなく半導体業界全体の問題でもあった。波長メリットが少ないとされたF2 157 nm は当初選択されずEPL に代表される電子線投影露光やEUVL と呼ばれる軟X線縮小投影露光が候補になっていた。 しかし開発は進展せずF2 157 nm に軸を置かざるを得なくなった。本稿では露光装置メーカ、デバイスメーカ、コンソーシアムなどが、EPL、EUVL に代えて再浮上させたF2 157 nmリソグラフィ技術の選択、開発の遅延、ArF 193 nm 液浸リソグラフィ技術への急展開と集中、F2 157 nm リソグラフィの断念、ArF 193 nm 液浸リソグラフィの急成長、限界となるNA 1.35 装置の投入へと突き進んだ過程を追い、技術開発の方向を変えていく様、リソグラフィ技術の世代交代の過酷さ、更なる寡占化を生んだ選択と集中・成長サイクルの創出過 程に垣間見られるオープンイノベーション戦略の優劣に迫る。

Suggested Citation

  • 東川, 巌, 2013. "半導体r&Dシステムのオープン化:F2リソグラフィ事例に学ぶ," IIR Working Paper 13-10, Institute of Innovation Research, Hitotsubashi University.
  • Handle: RePEc:hit:iirwps:13-10

    Download full text from publisher

    File URL:
    Download Restriction: no

    References listed on IDEAS

    1. Paul Almeida & Bruce Kogut, 1999. "Localization of Knowledge and the Mobility of Engineers in Regional Networks," Management Science, INFORMS, vol. 45(7), pages 905-917, July.
    Full references (including those not matched with items on IDEAS)

    More about this item


    Access and download statistics


    All material on this site has been provided by the respective publishers and authors. You can help correct errors and omissions. When requesting a correction, please mention this item's handle: RePEc:hit:iirwps:13-10. See general information about how to correct material in RePEc.

    For technical questions regarding this item, or to correct its authors, title, abstract, bibliographic or download information, contact: (Digital Resources Section, Hitotsubashi University Library). General contact details of provider: .

    If you have authored this item and are not yet registered with RePEc, we encourage you to do it here. This allows to link your profile to this item. It also allows you to accept potential citations to this item that we are uncertain about.

    We have no references for this item. You can help adding them by using this form .

    If you know of missing items citing this one, you can help us creating those links by adding the relevant references in the same way as above, for each refering item. If you are a registered author of this item, you may also want to check the "citations" tab in your RePEc Author Service profile, as there may be some citations waiting for confirmation.

    Please note that corrections may take a couple of weeks to filter through the various RePEc services.

    IDEAS is a RePEc service hosted by the Research Division of the Federal Reserve Bank of St. Louis . RePEc uses bibliographic data supplied by the respective publishers.