IDEAS home Printed from https://ideas.repec.org/a/scn/022092/5381066.html
   My bibliography  Save this article

Повышение Точности Управления Температурным Режимом В Установках Выращивания Кристаллов

Author

Listed:
  • Гоник Марк Михайлович

    (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана)

  • Боевкин Виктор Иванович

    (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана)

Abstract

Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0,05-0,1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров в процессе роста кристалла. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.

Suggested Citation

  • Гоник Марк Михайлович & Боевкин Виктор Иванович, 2010. "Повышение Точности Управления Температурным Режимом В Установках Выращивания Кристаллов," Управление большими системами: сборник трудов, CyberLeninka;Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН, issue 28, pages 211-229.
    • Handle: RePEc:scn:022092:5381066
    as

    Download full text from publisher

    File URL: http://cyberleninka.ru/article/n/povyshenie-tochnosti-upravleniya-temperaturnym-rezhimom-v-ustanovkah-vyraschivaniya-kristallov
    Download Restriction: no
    ---><---

    Corrections

    All material on this site has been provided by the respective publishers and authors. You can help correct errors and omissions. When requesting a correction, please mention this item's handle: RePEc:scn:022092:5381066. See general information about how to correct material in RePEc.

    If you have authored this item and are not yet registered with RePEc, we encourage you to do it here. This allows to link your profile to this item. It also allows you to accept potential citations to this item that we are uncertain about.

    We have no bibliographic references for this item. You can help adding them by using this form .

    If you know of missing items citing this one, you can help us creating those links by adding the relevant references in the same way as above, for each refering item. If you are a registered author of this item, you may also want to check the "citations" tab in your RePEc Author Service profile, as there may be some citations waiting for confirmation.

    For technical questions regarding this item, or to correct its authors, title, abstract, bibliographic or download information, contact: CyberLeninka (email available below). General contact details of provider: http://cyberleninka.ru/ .

    Please note that corrections may take a couple of weeks to filter through the various RePEc services.

    IDEAS is a RePEc service. RePEc uses bibliographic data supplied by the respective publishers.